Bij een e. wordt een dun voorwerp (praeparaat) doorstraald met een bundel elektronen. Dit zijn zeer kleine, electrisch negatief geladen deeltjes.
Een afbeelding van het praeparaat wordt verkregen met behulp van twee of meer z.g. electronenlenzen, welke berusten op de afbuiging van elektronen door elektrische of magnetische krachten. De stralengang is analoog aan die bij een gewoon microscoop. De electronen worden geproduceerd in een z.g. gloeikathode, door verhitting van daartoe geschikte materialen, vervolgens worden zij versneld door een hoge electrische spanning en daarna door een electronen lens (condensor) op het preparaat geconcentreerd. Het beeld wordt opgevangen op een fluorescerend scherm, d.i. een scherm, dat door de opvallende electronen tot lichten wordt gebracht. Hierop verschijnen de delen van het praeparaat, welke weinig, respectievelijk veel electronen doorlaten als donkere respectievelijk lichte delen.
Ook kan men de elektronen op ccn fotografische plaat laten inwerken. Aangezien de absorptie, dit is het niet-doorlaten, voor een electronenbundel i.h.a. verschilt van de absorptie van zichtbaar licht, zal het clcctroncnmicroscopischc beeld dus verschillen van het beeld in het lichtmicroscoop van hetzelfde voorwerp. Bij de interpretatie van de beelden dient men hiermede rekening te houden. Het grote voordeel van de e. boven de lichtmicroscoop is, dat men er ongeveer 1000 maal kleinere deeltjes nog mee kan afbeelden.
Nadelen van de e. zijn:
(1) het praeparaat moet zeer dun zijn,
(2) het inwendige moet luchtledig zijn, daar anders de elektronen door botsing met gasatomen teveel worden verstrooid.
