(SEM), m. (-scopen), elektronenmicroscoop waarin het object met een zeer fijne elektronenbundel puntsgewijs wordt af ge tast (‘scannen’).
Het principe van de scanningelektronenmicroscoop is reeds in 1938 voorgesteld; pas met behulp van de moderne elektronika is het systeem in de jaren zestig tot een onderzoeksinstrument ontwikkeld. In de conventionele elektronenmicroscoop wordt het object door een brede elektronenbundel getroffen. Elektromagnetische lenzen vormen dan met behulp van de doorgelaten elektronen een vergroot beeld van dat object. In de SEM worden niet deze primaire maar de secundaire elektronen voor de beeldvorming gebruikt. De secundaire elektronen worden uit de atomen van het objectoppervlak ‘losgeslagen’ door een invallende bundel primaire elektronen (met een energie van 10-100 ke V; bundeldoorsnede van 10 nm). Deze bundel tast het object punt voor punt af, terwijl de secundaire elektronen worden opgevangen.
Het hierdoor veroorzaakte signaal wordt gebruikt om de elektronenstraal van een beeldbuis in sterkte te laten variëren. Deze elektronenstraal beweegt zich synchroon met de aftastende elektronenbundel punt voor punt over het beeldscherm, zodat een beeld van het afgetaste voorwerp ontstaat. De smalle elektronenbundel levert een grote scherptediepte op, zodat zeer ruimtelijke beelden ontstaan van het oppervlak van het object. De verstrooide primaire elektronen, die door hun grotere energie te onderscheiden zijn van de secundaire, geven door hun hoekverdeling informatie over de soort atomen waardoor ze werden verstrooid. Ook de frequentie van de uitgezonden röntgenstraling is specifiek voor de betrokken atoomsoort. Detectie van verstrooide elektronen en röntgenstraling geeft dus de mogelijkheid tot een micro-analyse van de chemische samenstelling van het objectoppervlak. Het scheidend vermogen van een SEM-microscoop is ca. 10 nm.
