m. (-en, -s), vacuümmeter waarmee de gassamenstelling in een vacuümsysteem wordt gemeten.
Een restgasanalysator is een eenvoudige massaspectrometer. Het te onderzoeken gas wordt gedeeltelijk geïoniseerd, waarna de gevormde ionen met een elektrisch veld uit de bron worden getrokken en in het analysatorgedeelte worden geschoten, waar scheiding naar massa plaatsvindt. Veel gebruikte typen zijn de magnetische analysator en de quadrupoolanalysator. Bij het eerste type wordt gebruik gemaakt van het verschijnsel dat ionen met verschillende massa in een magnetisch veld verschillend worden afgebogen en dus worden gescheiden door een systeem van vier evenwijdige staven, waarvan de tegenover elkaar liggende elektrisch met elkaar verbonden zijn. Bij juiste dikte en onderlinge afstand van de staven ontstaat door het aanleggen van een hoogfrequente wisselspanning plus een gelijkspanning tussen de beide paren staven, langs de as van dit systeem een quadrupoolveld (twee onderling loodrechte velden). Afhankelijk van de gekozen combinatie van frequentie en amplitude van de wisselspanning en grootte van de gelijkspanning kan men er voor zorgen, dat slechts ionen van zeer bepaalde massa stabiele banen in dit veld beschrijven en dus door het systeem worden doorgelaten.
De ionen met afwijkende massa gaan steeds heftiger oscilleren en worden door de staven uitgevangen. Het magnetische type is alleen geschikt voor het meten van niet of slechts langzaam veranderende verschijnselen; het quadrupool type is ook geschikt voor snel veranderende verschijnselen. De laagste partiële gasdruk die met restgasanalysatoren kan worden gemeten, ligt bij 10-15 mbar (= ca. 10-13Pa).
