Restgasanalysator
m. (-en, -s), vacuümmeter waarmee de gassamenstelling in een vacuümsysteem wordt gemeten. Een restgasanalysator is een eenvoudige massaspectrometer. Het te onderzoeken gas wordt gedeeltelijk geïoniseerd, waarna de gevormde ionen met een elektrisch veld uit de bron worden getrokken en in het analysatorgedeelte worden geschoten, waar s...