v./m. (-en), een pomp die gebruikt wordt voor het verkrijgen van zeer lage gasdrukken. De diffusiepomp is een vacuümpomp waarvan de werking in principe berust op het meesleuren van gas door een gerichte dampstroom.
Op hetzelfde principe berust de dampstraalpomp.In de afb. is de opbouw van de beide pompen schematisch weergegeven. In een vat wordt een vloeistof (olie of kwik) verhit met een verwarmingselement.
Er vormt zich damp, die via de stijgbuis en de speciaal gevormde tuit met grote snelheid in de mengruimte6 stroomt en daar een dampscherm vormt, dat de vacuümruimte en de voorpomp van elkaar scheidt. Het gas uit de vacuümruimte vermengt zich in 6 met de damp en wordt meegenomen naar de ruimte 9 om vandaar verder weggepompt te worden door de voorpomp. De damp condenseert bij de koeling 10 en het condensaat stroomt terug naar 1. Het verschil tussen beide pompen ligt in de compactheid van de gevormde dampstroom.
Zowel door de vorm van de tuit 5 als door de hogere temperatuur van de vloeistof 2, zich uitend in een hogere aandrijf druk hl van de dampstroom, is deze bij de dampstraalpomp veel compacter. Een dampstraalpomp heeft haar grootste pompsnelheid bij een aanzuigdruk (druk in de vacuümruimte) tussen 0,1 en 0,001 torr. De pompsnelheid van een diffusiepomp neemt sterk toe als de aanzuigdruk kleiner dan 0,001 torr wordt. Een voorpomp is bij beide pompen noodzakelijk, omdat het dampscherm zich slechts kan vormen, als de gasdruk in 9 voldoende laag is (voor een diffusiepomp minder dan 0,1 torr, voor een dampstraalpomp nog tot ca. 10 torr). Aan de aanzuigzijde van de pomp moet een baffle worden aangebracht, ten einde te voorkomen dat olieof kwikdamp in de vacuümruimte komt. Deze pompen worden in de vacuüm techniek veel gebruikt en vaak bestaat een als diffusiepomp aangeduide pomp in feite uit diverse diffusieen dampstraalpompen in serie.
Men spreekt dan, al naar gelang van het aantal afzonderlijke pompen van een 2-, 3of 4-traps-diffusiepomp. De pompen worden van glas of metaal gemaakt. Bij glazen pompen kan men pompsnelheden tot 100 liter per seconde bereiken. Bij metalen pompen, waar de afmetingen veel groter kunnen zijn, komt men tot 10000 liter per seconde. De laagste drukken, die met deze pompen bereikt kunnen worden, liggen in de orde van 10-11 torr.
