[➝Gr. taxis, rangorde], v., de georiënteerde groei van een kristalsoort op een andere (het substraat).
(e) Epitaxie is alleen mogelijk als er een eenvoudig verband bestaat tussen de netmazen van de roostervlakken van beide kristallen, evenwijdig met het contactvlak. Het substraat kan hetzelfde materiaal zijn als het afgezette materiaal (autoepitaxie) eventueel op een verontreiniging na. Dit laatste wordt toegepast in de moderne halfgeleidertechnologie voor het fabriceren van geïntegreerde schakelingen (➝syntaxie). Bekende voorbeelden van epitaxie zijn stauroliet op distheen en rutiel op hematiet.
