ionisatiesputterpomp
v./m. (-en), (ook: ionengetterpomp), type vacuümpomp. (e) Een ionisatiesputterpomp (afb.) bestaat in principe uit een anode met honingraatconstructie met aan weerszijden kathodeplaten van titaan. De anode heeft een spanning van ca. 3000 V ten opzichte van de kathoden. Een buiten het vacuüm aanwezige permanente magneet zorgt voor een magne...
