v./m. (-en), toestel waarmee lucht of gas uit een ruimte (vacuümruimte of recipiënt) verwijderd kan worden.
De vacuümpompen kunnen worden onderscheiden in twee soorten:
1. gastransportpompen, die het gas uit de vacuümruimte naar de buitenlucht wegpompen, b.v. diffusiepomp, draaischuifpomp, vacuümkoelen. Vacuiimkoeler voor draaizuigerpomp, rootspomp, waterstraalpomp;
2. gasopslagpompen, die het gas in het vacuümsysteem aan vaste stoffen binden, b.v. ionisatiesputterpomp, sorptiepomp, sublimatiepomp.
