m. (-scopen), een apparaat waarmee een zeer sterk vergroot beeld kan worden verkregen van de oppervlakte van een kathodespits.
De kathodespits bevindt zich in het middelpunt van een geëvacueerde bol met fluorescerend oppervlak (het scherm). Wordt de spits op een sterk negatieve spanning (1—10 kV) gebracht ten opzichte van het scherm, dan emitteert zij elektronen die zich naar het scherm bewegen langs ongeveer rechte banen loodrecht op het oppervlak. Het scherm licht op en geeft een beeld te zien van de emissieverdeling op het kathode-oppervlak. De vergroting is gelijk aan de verhouding van de afstand spits-scherm tot de kromtestraal van de spits en kan een waarde van 1 mln. maal bereiken. Details van de kristalroosterstructuur worden dan onderscheidbaar.
Bij een veldionenmicroscoop wordt de metalen spits op een sterk positieve spanning gebracht en in de ruimte tussen spits en scherm bevindt zich heliumgas bij lage druk. De heliumatomen worden bij de spits geïoniseerd en bewegen zich naar het scherm waarop een beeld ontstaat. Dit maakt het scheidend vermogen groter doordat de massa van een heliumion veel groter is dan van een elektron. Onder gunstige omstandigheden kunnen met een veldionenmicroscoop de posities van individuele atomen op het oppervlak worden waargenomen.